昇圧ポンプユニット
PU300A
ポンプユニット / 昇圧ポンプユニット
- 製品概要
- 水圧の低い純水を昇圧して装置に供給する
- 用途
- 各種洗浄装置､
ダイサースピンドルモータ冷却､
バリ除去など
仕様
-
型式
PU300A
-
ポンプ
カスケードステンレスポンプ
400W -
吐出流量
13L/min/16L/min 50/60Hz
0.5MPa時 -
適用流体
純水
-
表示
吐出圧力計 0～0.6MPa
吐出圧調整バルブ (リリーフ方式) -
リモート機能
ポンプ運転/停止指令 DC24V
-
安全動作
・外部締切運転時リリーフ弁による内部循環自動切換え リリーフ作動圧 0.5MPa
・循環水温度上昇検知 作動温度 50℃
・過電流･漏電保護機能 ブレーカ作動 -
供給電源
AC200V ±10% 3Φ
50/60Hz 1.2kVA -
外形寸法
W228*H336*D520
-
筐体
ステンレスヘアライン仕上げ
-
重量
約25kg
-
使用環境
室内､温度10～35℃､
湿度30～80%
（外部サイト IPROS）
PU201A
ポンプユニット / 昇圧ポンプユニット
- 製品概要
- 水圧の低い純水を昇圧して装置に供給する
- 用途
- 各種洗浄装置､
ダイサースピンドルモータ冷却､
バリ除去など
仕様
-
型式
PU201A
-
ポンプ
カスケードステンレスポンプ
200W -
吐出流量
17L/min/9L/min 50/60Hz
4Kgf/㎠時 -
適用流体
純水
-
リモート機能
ポンプ運転/停止指令 DC24V
-
安全動作
・外部締切運転時リリーフ弁による内部循環自動切換え リリーフ作動圧 5Kgf/㎠
・循環水温度上昇検知 作動温度 50℃
・過電流･漏電保護機能 ブレーカ作動 -
供給電源
AC100V ±10% 50/60Hz 8A
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外形寸法
W210*H245*D390
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筐体
アイボリー焼付け塗装
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重量
約15kg
（外部サイト IPROS）
UPPU-10LR
ポンプユニット / 昇圧ポンプユニット
- 製品概要
- 超純水を昇圧し外部へ供給するためのもので､昇圧はエア駆動ベローズポンプにより行う｡圧力を調整するためのエアレギュレータや吐出圧力モニターを有する
- 用途
- ウエハスピン洗浄用
仕様
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型式
UPPU-10LR
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吐出圧力
0.4MPa max
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吐出流量
7L/min
0.2MPa時 -
駆動エア圧力
0.2～0.4MPa
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エア消費量
50L/min
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脈動防止
アキュムレータ内蔵
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接液配管材質
テフロンPFA又はPTFE
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漏水検知
ワイヤー式漏水検知器内蔵
（外部サイト IPROS）