ポンプユニット / 高圧ポンプ

FSBL-50

製品概要

エア駆動式プランジャーポンプで電気を使用しないため、防爆地区に使用可能リフトオフ装置等の組込用に最適

『FSBLシリーズ』は、純水、IPA、NMPなどをウエハ等に高圧噴射して膜を除去するリフトオフ装置等に適したポンプです。
エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な場所でも使用できます。

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