仕様
| 型式 | SSBLシリーズ |
|---|---|
| 吐出圧力 | SSBL-20 : 0.98～9.8MPa SSBL-30 : 1.47～14.7MPa SSBL-37.5 : 1.76～17.6MPa |
| 吐出流量 | SSBL-20 : 1.13L/min SSBL-30 : 0.71L/min SSBL-37.5 : 0.58L/min |
| 駆動エア圧 | 0.05～0.5MPa |
|---|---|
| エア消費量 | 約70L (ポンプストローク数 60SPM時) |
| 接液シール | 純水､IPA ･･･ FKM NMP ･･･ カルレッツ |
説明
『SSBLシリーズ』は、純水、IPA、NMPなどをウエハ等に高圧噴射して膜を除去するリフトオフ装置等に適したポンプです。
エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な場所でも使用できます。
昇圧部シール材としてフッ素樹脂、超高分子量ポリエチレンを使用。
OリングはFKM仕様とカルレッツ仕様から選択可能。
2000年から25年におよぶ市場供給をしております。
【特長】
■コンパクト設計で組込みに好適
■操作はエア供給圧を可変することで吐出圧を制御可能
■エア圧力0.5MPaにて最高17.6MPaまで昇圧可能（SSBL-37.5A）
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