ポンプユニット / 高圧ポンプユニット

KPWシリーズ

製品概要

エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった装置組み込みに適す

用途

高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤によるはく離等に用いる

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仕様

型式 KPWシリーズ
吐出圧力 KPW-20 : 0.98～9.8MPa
KPW-30 : 1.47～14.7MPa
KPW-37.5 : 1.76～17.6MPa
吐出流量 KPW-20 : 1.13L/min
KPW-30 : 0.71L/min
KPW-37.5 : 0.58L/min
駆動エア圧力 0.05～0.5MPa
エア消費量 約70L (ポンプストローク数 60SPM時)
接液シール 純水､IPA ･･･ FKM
NMP ･･･ カルレッツ
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