仕様
| フィルター | カプセルフィルター 0.1 ミクロン ポリスルホン製 |
|---|---|
| 薬液 | 酸系 H2O2, HF アルカリ系 NH4OH |
| バルブ | エアオペレートバルブ PTFE |
|---|---|
| 排気 | ダンパー､マノメータ内蔵 |
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