仕様
| 型式 | P112 |
|---|---|
| 希釈液 | NH40H、H2O2、HF、DIW |
| 希釈液流量 | 2.2L/min max 2系統 |
| 希釈時間 | 1分/2.2L |
|---|---|
| 供給圧力 | 0.2MPa max |
| 電源 | 単相100V~240V±10%、15A |
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